臨界流量流量計的探討 四十三
半導(dǎo)體單晶硅材料在受到外力作用時，會產(chǎn)生肉眼察覺不到的極微小應(yīng)變，其原子結(jié)構(gòu)內(nèi)部的電子能級狀態(tài)將發(fā)生變化，從而導(dǎo)致其電阻率劇烈的變化，由這種材料制成的電阻也隨之出現(xiàn)極大變化，這種物理效應(yīng)稱為壓阻效應(yīng)。硅壓阻式傳感器就是在硅片上用擴散或離子注入法形成四個阻值相等的電阻條，并將它們接成一個惠更斯電橋。當(dāng)沒有外加壓力時，電橋處于平衡狀態(tài)，電橋輸出電壓為零。當(dāng)有外加壓力時，電橋失去平衡，產(chǎn)生輸出電壓，該電壓大小與外加壓力有關(guān)，通過檢測電壓即可得到相應(yīng)的壓力值。
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