臨界流量流量計(jì)的探討 四十二
4.3.2壓力測(cè)量
這部分內(nèi)容主要是選取壓力傳感器,壓力傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)的器件?捎门c壓力、位移等量的測(cè)量。壓力傳感器種類繁多,經(jīng)常使用的有金屬應(yīng)變片式傳感器,但是應(yīng)變片式傳感器有許多缺點(diǎn),如信號(hào)微弱,需經(jīng)過多級(jí)放大處理,而且對(duì)信號(hào)處理電路的要求較高:同時(shí)金屬應(yīng)變片的工作頻率也不能太高,若超過最高工作頻率,則會(huì)產(chǎn)生較大的誤差(金屬應(yīng)變片的最高工作頻率與應(yīng)變片的長(zhǎng)度有關(guān))。目前,由半導(dǎo)體材料制成的硅壓阻式傳感器因其性能良好、易集成等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛應(yīng)用。
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