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 超聲波流量計芯片的原理探討   七十二

超聲波流量計用Dracula做DRC，它的輸入有兩個，一個是版圖文什，即自己岐計的版圖設(shè)計工具中導(dǎo)出的GDSII文件或其他格式，另一個是規(guī)則文件(Rule File)， DRC工具怎樣做DRC。提供的版圖幾何規(guī)范自己寫。要做版圖驗證，而如果自己寫規(guī)則文件，就對工藝規(guī)則的掌握有更高要求丁。

對一個DraculaDRC的使用者米說，主要有臥F幾個音{f分的知識要掌握。第一，工藝規(guī)則。要求對芯片在半導(dǎo)體加工工廠里的制造工藝流程有一定程度的了解。第二，rule文件的編寫和編輯。第三，Dracula輸出的DRC信息的使用。

DRC檢查的內(nèi)容包括：最小間距、最小寬度、最小露頭、金屬最小凹槽等等。