超聲波流量計(jì)芯片的原理探討 六十八
(3)電容充電控制電路版圖
超聲波流量計(jì)電容充電控制電路是根據(jù)捕捉到的STOP電平高低變換信號(hào)來(lái)控制開關(guān)的打開與關(guān)閉。因?yàn)橥饨尤齻(gè)不同的充電電容,為了使電容充電操作一致,在版圖中采用對(duì)稱的設(shè)計(jì),各個(gè)信號(hào)到達(dá)三個(gè)電容開關(guān)的線路基本一致,減小誤差。
(4)電阻
在標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝中,電阻有使用硅化物阻擋層Poly電阻、擴(kuò)散電阻、阱電阻等形式。其中擴(kuò)散電阻與阱電阻隨工藝及溫度變化很大,而Poly電阻對(duì)襯底電容小和失配小,具有線性度高等特點(diǎn),故在本設(shè)計(jì)中均采用的Poly電阻。
(5)ESD保護(hù)
ESD是當(dāng)今MOS集成電路中最重要的可靠性問題之一。在芯片上由于種種原因可能積累電荷,當(dāng)電荷積累到一定程度,放電過程就會(huì)擊穿MOS管,造成永久的損壞。ESD現(xiàn)象主要能對(duì)電子器件造成以下的損壞:在半導(dǎo)體器件中由于介質(zhì)擊穿而導(dǎo)致氧化物薄膜破裂;由于EOS(electrical overstrcss)引起過熱導(dǎo)致金屬導(dǎo)線熔化;由于寄生PNPN結(jié)構(gòu)而導(dǎo)致CMOS器件閉鎖;使元器件結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生潛藏的缺陷,它們并不立即失效,但會(huì)引起斷續(xù)的故障以及長(zhǎng)期可靠性問題。為了避免靜電對(duì)電路的破壞,需要在電路中加個(gè)靜電釋放模塊,也就是ESD電路。